Balance de force et suppression l'erreur du microgyroscope vibrant en silicium

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Bol Le micro gyroscope à anneau vibrant est un gyroscope à ¿uctuation solide à structure axisymétrique bidimensionnelle qui a évolué à partir d'un gyroscope résonant hémisphérique tridimensionnel. Héritant des caractéristiques du gyroscope hémisphérique résonant, telles que la haute précision, la haute fiabilité, la longue durée de vie et la résistance aux surcharges, il est compatible avec la technologie de traitement MEMS actuelle, ce qui lui confère un meilleur CSWaP et lui ouvre de vastes perspectives d'application. Par conséquent, le gyroscope à anneau vibrant est devenu l'un des points chauds de la recherche sur les gyroscopes MEMS.

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Le micro gyroscope à anneau vibrant est un gyroscope à ¿uctuation solide à structure axisymétrique bidimensionnelle qui a évolué à partir d'un gyroscope résonant hémisphérique tridimensionnel. Héritant des caractéristiques du gyroscope hémisphérique résonant, telles que la haute précision, la haute fiabilité, la longue durée de vie et la résistance aux surcharges, il est compatible avec la technologie de traitement MEMS actuelle, ce qui lui confère un meilleur CSWaP et lui ouvre de vastes perspectives d'application. Par conséquent, le gyroscope à anneau vibrant est devenu l'un des points chauds de la recherche sur les gyroscopes MEMS.


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  • 9786208326784
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