Bilanciamento della forza e soppressione degli errori del microgiroscopio vibrante al silicio

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Bol Il microgiro ad anello vibrante è un giroscopio a ¿uttuazione solida a struttura assialsimmetrica bidimensionale che si è evoluto da un giroscopio risonante emisferico tridimensionale. Partendo dall'eredità delle caratteristiche del giroscopio a risonanza emisferica, come l'elevata precisione, l'alta affidabilità, la lunga durata e la resistenza ai sovraccarichi, è compatibile con l'attuale tecnologia di elaborazione MEMS mainstream, con un migliore CSWaP e con un'ampia prospettiva di applicazione. Pertanto, il giroscopio ad anello vibrante è diventato uno dei punti caldi della ricerca sui giroscopi MEMS.

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Il microgiro ad anello vibrante è un giroscopio a ¿uttuazione solida a struttura assialsimmetrica bidimensionale che si è evoluto da un giroscopio risonante emisferico tridimensionale. Partendo dall'eredità delle caratteristiche del giroscopio a risonanza emisferica, come l'elevata precisione, l'alta affidabilità, la lunga durata e la resistenza ai sovraccarichi, è compatibile con l'attuale tecnologia di elaborazione MEMS mainstream, con un migliore CSWaP e con un'ampia prospettiva di applicazione. Pertanto, il giroscopio ad anello vibrante è diventato uno dei punti caldi della ricerca sui giroscopi MEMS.


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  • 9786208326791
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