Concepção, Análise E Síntese de Um Sensor Co Gás Utilizando Tecnologia Mems

Este livro relata o projeto, a análise e a síntese de um sensor de gás monóxido de carbono à base de silício utilizando a tecnologia MEMS. A tónica é colocada na investigação da temperatura da microplaca quente para a variação da potência, uma vez que o analito é sensível a um gás específico a alta temperatura. A abordagem geral seguida neste trabalho consiste em explorar a possibilidade de utilizar a microplaca quente para a deteção do gás. Para completar o projeto do sensor, a análise é a parte vital, uma vez que mostra a distribuição da temperatura na microplaca quente. Para realizar o objetivo do livro, foi concebido e simulado um sensor de gás monóxido de carbono baseado em silício para deteção química. A película de deteção utilizada para a deteção do gás monóxido de carbono é uma película de óxido de estanho. É amplamente utilizada em aplicações de sensores de gás, uma vez que é sensível a um gás específico a altas temperaturas. Para atingir uma temperatura de funcionamento tão elevada, foi desenvolvida uma microestrutura designada por microplaca quente.