Étude de la couche superficielle du silicium avec dépôt d'indium

Ce travail concerne le domaine des nanotechnologies, qui connaît un essor fulgurant depuis quelques décennies. De nombreux aspects restent encore flous et nécessitent des études supplémentaires. Le travail proposé contient une analyse des lois régissant la formation d'éléments de reconstruction et de structures en clusters sur les surfaces Si(111) et Si(557). Les particularités de l'apparition d'une reconstruction 7x7 sur la surface vicinale Si(557) ont été étudiées. Il a été établi que, contrairement à la surface Si(111), la formation de clusters à la surface Si(557) ne commence pas immédiatement après le début de la pulvérisation. Le retard représente jusqu'à 20 % du temps total de pulvérisation de la monocouche. Pendant ce retard, les atomes d'indium se déposent sur les marches, formant des zones de revêtement non structuré en indium. Une tentative a été faite pour expliquer la raison de la formation de reconstructions aussi complexes que 7x7 ou 5x5. Une version de la création de la méthode STMS - balayage simultané du relief de la surface et enregistrement des dépendances spectroscopiques - a été formulée.