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Herstellung von Te- und TeO¿-Dünnschichten für Gassensoren: Herstellung, Charakterisierung Anwendungen

Name: Herstellung von Te- und TeO¿-Dünnschichten für Gassensoren: Herstellung, Charakterisierung Anwendungen
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Bol In diesem Buch wird die Herstellung von Tellur- und Telluroxid-Dünnschichten mittels Kaltzerstäubungsverfahren auf verschiedenen Substraten bei unterschiedlichen Abscheidungswinkeln vorgestellt, wobei Heliumgas als Kaltzerstäubungs- und Pulverträgergas verwendet wurde, ohne dass ein Katalysator zum Einsatz kam. Die Charakterisierung der hergestellten Dünnschichten erfolgte mittels Röntgendiffraktometrie (XRD), Rasterelektronenmikroskopie (SEM) sowie Rasterkraftmikroskopie (AFM). Die Dünnschichten wiesen eine hohe Durchlässigkeit auf, wodurch sich die Produkte potenziell für den Einsatz in transparenten Bauelementen eignen. Somit zeigten die Dünnschichten ihr Anwendungspotenzial in Bauelementen mit geringem Stromverbrauch, beispielsweise für Ammoniak-Gassensoren.

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In diesem Buch wird die Herstellung von Tellur- und Telluroxid-Dünnschichten mittels Kaltzerstäubungsverfahren auf verschiedenen Substraten bei unterschiedlichen Abscheidungswinkeln vorgestellt, wobei Heliumgas als Kaltzerstäubungs- und Pulverträgergas verwendet wurde, ohne dass ein Katalysator zum Einsatz kam. Die Charakterisierung der hergestellten Dünnschichten erfolgte mittels Röntgendiffraktometrie (XRD), Rasterelektronenmikroskopie (SEM) sowie Rasterkraftmikroskopie (AFM). Die Dünnschichten wiesen eine hohe Durchlässigkeit auf, wodurch sich die Produkte potenziell für den Einsatz in transparenten Bauelementen eignen. Somit zeigten die Dünnschichten ihr Anwendungspotenzial in Bauelementen mit geringem Stromverbrauch, beispielsweise für Ammoniak-Gassensoren.

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