Mikroentladungs Arrays auf Silicium

Mikroplasmen werden zu einem wichtigen Thema in der Plasma-Community. Mikroplasmen bestehen aus Mikrohohlkathodenentladungen (MHCD), Mikrojets und dielektrisch behinderten Entladungen (DBD). Sie können alle bei atmosphärischem Druck arbeiten und sind Nichtgleichgewichtsplasmen. Unter diesen verschiedenen Arten von Mikroentladungen erscheinen MHCDs als eine sehr vielversprechende Gerätekonfiguration, um Gleich- oder Wechselstrom durch verschiedene Gase zu leiten. In diesem speziellen Reaktor ist das stabile Mikroplasma in einem Hohlraum eingeschlossen. Obwohl viele Konfigurationen von MHCD-Anordnungen vorgeschlagen wurden, wurden integrierte Systeme mit MHCDs und Mikroelektronik noch nicht vorgestellt. Ziel dieser veröffentlichten Arbeit ist es, verschiedene Arten von Silizium-Mikroreaktoren vorzuschlagen, die durch Mikrofabrikationstechniken hergestellt werden, sie durch elektrische und optische Diagnostik zu charakterisieren und sie parallel für die Gasverarbeitung zu testen. So soll ein besseres Verständnis der physikalischen Phänomene im Zusammenhang mit Mikroentladungsanordnungen aus Silizium geschaffen werden.