Projektowanie, Analiza I Synteza Czujnika Wspólgazu Z Wykorzystaniem Technologii Mems

Niniejsza ksi¿¿ka przedstawia projekt, analiz¿ i syntez¿ czujnika tlenku w¿gla na bazie krzemu z wykorzystaniem technologii MEMS. Nacisk po¿o¿ono na badanie wp¿ywu temperatury mikrop¿ytki na zmiany mocy, poniewä analit jest wräliwy na okre¿lony gaz w wysokiej temperaturze. Ogólnym podej¿ciem zastosowanym w tej pracy jest zbadanie mo¿liwo¿ci wykorzystania mikrop¿ytki do wykrywania gazu. W celu uko¿czenia projektu czujnika, analiza jest istotn¿ cz¿¿ci¿, poniewä pokazuje rozk¿ad temperatury w mikrop¿ytce. Realizuj¿c cel ksi¿¿ki, zaprojektowano i zasymulowano krzemowy czujnik tlenku w¿gla do wykrywania substancji chemicznych. Folia czujnikowa stosowana do wykrywania tlenku w¿gla to folia z tlenku cyny. Jest ona szeroko stosowana w czujnikach gazu, poniewä jest wräliwa na okre¿lony gaz w wysokich temperaturach. Aby osi¿gn¿¿ tak wysok¿ temperatur¿ pracy, opracowano mikrostruktur¿ zwan¿ mikro-p¿ytk¿.